氦質(zhì)譜檢漏儀的氦質(zhì)譜檢漏儀的質(zhì)譜檢漏方法在真空檢漏技術領域里已經(jīng)得到廣泛的應用,這種方法的優(yōu)點是:檢漏靈敏度高,可以檢漏到10-11Pam3/s 數(shù)量級,儀器響應快,氦分子在儀器高真空的環(huán)境中擴散的速度很高;所以氦質(zhì)譜檢漏儀在許多領域里得到廣泛的應用,例如,在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、衛(wèi)星、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。在一般工業(yè)領域里原子能、發(fā)電廠、配電站、合成氨的氮肥生產(chǎn)廠、汽車制造業(yè)、造船工業(yè)、制冷工業(yè)、冶金工業(yè)、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐快餐食品包裝等都離不開檢漏問題,同樣在導彈武器裝備中也離不開檢漏,導彈彈體、燃料儲備罐、燃料運輸管道、彈頭、特殊部件的密封性都要用到核質(zhì)譜檢漏儀。
核質(zhì)譜檢漏儀運用行業(yè)的發(fā)展
（1）電力行業(yè)SF6高壓開關與氧化鋅避雷器是發(fā)電廠及曠野輸變電的必要構成一部分，時時因透露造成大面積或局部停電，影響家打造生產(chǎn)，又故障人們的正常生活生計。因此帶來的經(jīng)濟流失無意是難以估計的。
1）低壓開關在連箱是鋁鑄件，經(jīng)常簡單有砂眼，且漏孔組織蕪雜，不易清洗。一般采納檢漏盒或氦罩法，即把被檢件抽真空，爾后向罩內(nèi)充入氦氣，等候定然工夫，必然總漏率的大小。因氦氣的用量小，檢測靈敏度就高。
2）腐蝕鋅避雷器，是依照電壓高低申請，采用差別截面積、不合厚度和一致數(shù)量的侵蝕鋅片，裝在瓷套中，充入氮氣后密封。其任務情理是在高壓輸出中如遇雷擊，侵蝕鋅片電阻變小，大電流對地短路，輸電旅程被珍愛。假設透露造成表里不有壓差，內(nèi)部潮濕氣體有大概進入，而破不好腐蝕鋅片共性，造成爆炸。
3）電力行業(yè)中，電廠的檢漏、低壓變壓器、低壓電容器、低壓開關管及其他元器件也都響應的采納氦質(zhì)譜檢譜檢漏儀，用一致法子進行檢漏。
（2）電子行業(yè)微波發(fā)射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類傳感器、心臟起博器。
（3）真空行業(yè)，儀器、儀表行業(yè)管道、探討、閥門、漣漪管、各類真空泵、各類排氣機組、電鏡、質(zhì)譜儀、電子束離子速曝光機、激光軸會萃器、高能加速器、醫(yī)用加快器、輻照加快器、鍍膜機、薄膜真空計,鹽霧試驗箱。
（4）核出產(chǎn)業(yè)鈾云散擺設、存儲擺設、核發(fā)電擺設。
（5）制冷行業(yè)冰箱、空調(diào)、溴化鋰制冷機組、汽車用空調(diào)、蒸發(fā)器、冷凝器、奪縮機、低溫儲槽。
（6）不銹鋼保溫器皿真空保溫杯、瓶、鍋、飯盒等。
